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電子顕微鏡用超高安定化電源(収差補正用にも使用可能)

製品概要

超高解像度電子顕微鏡用に開発された、超高精度、超低ノイズの直流電源装置です。

安定に温度制御された恒温槽内に、厳選された電子部品を配し、これらの性能を十分に発揮できる回路構成と、低域ノイズを低減する新回路を開発することで、他に類を見ない0.1ppm(1/1000万)という超高安定度を実現しました。

定電圧電源、定電流電源、バイポーラ電源のいずれでも、
この超高精度が実現できますのでレンズ系用だけではなく、収差補正用にも御使用頂けます。

仕様例

電圧 電流 安定度 温度係数 電流リップル・ノイズ
10kV 2mA 1×10-7/m 0.07ppm/K 1×10-7P-P
120V 20A 1×10-7/m 0.1ppm/K 3×10-7P-P
±4V ±0.5A 1×10-7/m 0.1ppm/K 1×10-7P-P
±2000V ±10μA 1×10-6/12h 0.4ppm/K 1×10-6P-P
±5V ±0.5A 1×10-6/12h 0.2ppm/K 1×10-6P-P
120V、20A、0.1ppm 定電流電源の電流安定度

※電流を 0.5Ωの高精度シャント(Alpha-elec)で 10Vの電圧とし、標準電圧源 732B(FLUKE)で打ち消して測定。

納入実績

(C)RIKEN

主要納入先

  • 公益財団法人 高輝度光科学研究センター JASRI
  • 大型放射光施設 SPring-8
  • X線自由電子レーザー(XFEL)施設 SACLA
  • 量子科学技術研究開発機構
  • 研究開発センター

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